报告发布方：中金企信国际咨询《2025-2031年全球与中国半导体设备行业总体规模分析及主要地区产能产量分析报告》

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半导体工艺流程复杂，对设备依赖度较高，设备性能直接影响半导体制造的品质、工艺效率及良率，所以半导体专用设备是半导体产业的先导、基础产业，具有技术壁垒高、研发周期长、研发投入高、制造难度大、设备价值高、客户验证壁垒高等特点，是半导体产业中最难攻克却至关重要的一环。

半导体专用设备主要应用于半导体制造流程中的硅片制备、晶圆制造、测试和封装等环节，包括单晶炉、光刻机、CVD、刻蚀机、探针台、测试机、分选机、减薄机、划片机等。

（1）全球半导体设备行业发展态势

①半导体市场需求带动半导体专用设备行业规模增长

半导体设备位于产业链的上游，其市场规模随着下游半导体的技术发展和市场需求而波动。2013年至2021年，在智能手机、消费电子、数据中心等终端运用快速发展的推动下，半导体设备行业进入了一个总体上升的周期。数据显示，全球半导体设备市场规模在2021年已达1,026亿美元。

数据整理：中金企信国际咨询

其中，各类设备的占比如下图所示：

数据整理：中金企信国际咨询

②全球半导体专用设备市场主要由国际巨头占据

半导体专用设备具有技术壁垒高、研发周期长、研发投入高、制造难度大、设备价值高、客户验证壁垒高等特点，以美国应用材料（AMAT）、荷兰阿斯麦（ASML）、东京电子（TEL）、泛林半导体（LamResearch）、科磊（KLA）等为代表的国际知名半导体设备企业起步较早且经过多年发展，占据了全球半导体专用设备市场的主要份额。根据中金企信统计，2020年，前述厂商占据了全球半导体设备市场65.5%的份额，其具体经营情况如下表所示：

数据整理：中金企信国际咨询

（2）中国大陆半导体设备行业发展态势

①中国大陆半导体设备行业规模快速增长

近年来，受益于强有力的国家战略支持，密集的资本和人才投入，以及全球半导体产业第三次转移，国内半导体专用设备企业迎来重大发展机遇。据中金企信统计，中国大陆半导体设备销售规模已由2013年的33.70亿美元增长至2021年的296.20亿美元，年复合增长率31.22%，高于全球半导体设备销售规模增速。同时，中国大陆半导体设备市场规模在全球市场中的占比也逐年攀升，由2013年的10.60%增长至2021年的28.87%。

数据整理：中金企信国际咨询

②中国大陆半导体专用设备市场对进口设备存在依赖

现阶段我国半导体设备主要依赖进口，而且在中高端及核心设备领域，国外知名半导体设备企业占据了较大份额。根据中金企信统计，我国大陆三座典型晶圆厂长江存储（2017年至2021年）、华力集成（2016年至2021年）和华虹无锡（2018年至2021年）采购的核心半导体设备（用于薄膜沉积、过程控制、离子注入、光刻、涂胶显影等核心环节）中约有95%来自境外。

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