报告发布方：中金企信国际咨询

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（1）压电驱动技术发展情况：压电驱动是指利用逆压电效应将电能转换为压电体的变形或振动，从而形成驱动能力的一种方式。逆压电效应是指当石英、电气石等各向异性的压电晶体材料置于电场下时，晶体出现几何变形的现象。随着钛酸钡（BaTiO3）、锆钛酸铅系（PZT）等压电材料的发现，压电晶体的压电性能有了大幅度提高，促进了压电驱动技术的产业化应用。

压电驱动具有高精度、高频响的特点，理论上可以通过调整压电体的成分配比满足任意速度与精度的驱动位移或变形要求。双晶片结构与叠堆结构压电元件的频响高，响应时间短，并可在任意微量电压变化下产生位移或变形，具备纳米级可控的精密驱动能力。

目前，利用压电驱动技术已形成压电超声波马达、压电精密驱动器、压电阀、压电泵等多种驱动装置，广泛应用于光学、生物医疗、精密制造、半导体设备、工业控制、航空航天、科学实验等领域。

（2）压电驱动与电磁驱动技术的比较情况：电磁驱动是基于电磁感应原理将电能转换为机械能，从而形成驱动能力的一种方式。电磁驱动是现代国民经济与社会生活中应用范围最广、使用历史最长的传统驱动方式。电磁驱动技术成熟，作为其换能器件的种类繁多，使用便捷。相对于电磁驱动，压电驱动的特点是位移（或变形）小，输出功率小，一般不适于用作大载荷、大位移、大体积等大功率器件的驱动源，但在形成高精度、高速度、小体积驱动能力上，压电驱动的性能优势更加突出。压电驱动与电磁驱动的技术特点对比情况如下：

压电驱动与电磁驱动的应用特点对比情况如下：

在精密流体控制领域，压电驱动是电磁驱动之外最主要的新型动力驱动方式。相对于电磁驱动，压电驱动在最高频响、位移分辨率、响应时间等方面具有性能优势。压电驱动能大幅提高控制精度与控制速度等，具备电磁驱动所达不到的能力，尤其是在对流体控制精度和控制速度具有严苛要求的半导体设备领域。

（3）压电驱动精密流体控制产品运行现状：以压电驱动构造形成的精密流体控制产品可统称为压电阀和压电泵，相比同类电磁阀或电磁泵，具有更高的输出精度、更快的反应速度，更易于控制、更安全节能，且结构简单、体积小。压电阀和压电泵理论上可以在大部分高精度、高速度、小体积驱动能力的场景下代替电磁阀或电磁泵使用，在高端智能装备中则具有更大的应用优势。

目前，压电驱动在气体、液体等流体的精密控制上均得到较好的应用，形成了质量流量控制器、压电喷射阀、压电比例阀、压电泵、压电喷油阀、压电喷墨打印、压电伺服阀等十几种产品，能量的转换结构与技术构成方式日趋丰富、完善，产品种类与功能也日益增多，新的压电驱动精密流体控制产品还在不断被开发出来，显著改善着社会生活、工业生产等行为方式。

1、质量流量控制器发展态势分析：质量流量控制器在半导体行业中的应用非常广泛，是保证晶圆制造品质的核心流体控制部件，用于气体和液体的质量流量测量和质量流量精密控制。20世纪80年代，部分发达国家利用热传导原理测取气体质量流量，但受限于微电子技术，气体质量流量控制器存在较多缺陷，如响应速度慢、易受干扰等，仅在部分特殊场合应用于小流量控制，或作为流量开关使用。

进入21世纪后，随着微电子和计算机技术的迅猛发展，过去制约气体质量流量控制器的瓶颈不复存在，计算速度、精度、抗干扰能力都得到大幅提升，气体质量流量控制器技术得到了快速发展，目前已经广泛应用于集成电路和面板、光伏等泛半导体领域的流体流量精密控制环节。

长期以来国内半导体级质量流量控制市场被Horiba、MKS、Brooks等国际厂商垄断。其中，Horiba技术路线为压电驱动式，MKS和Brooks技术路线为电磁式，基于压电驱动的比较优势，Horiba占据主要的市场份额，根据财报，其在全球MFC市场占有率达60%。

2022年10月，美国商务部工业和安全局（BIS）修订《出口管理条例》，宣布了一系列针对中国的出口管制新规，全面加强对中国半导体行业，特别是先进制程能力建立的限制。2023年1月，美国、荷兰和日本达成协议，建立半导体设备供应联盟，进一步加强对先进半导体制造设备的出口管制。同年10月，美国商务部工业与安全局在2022年10月出口管制措施的基础上，更新了对先进计算集成电路、半导体制造设备以及支持超级计算应用和最终用途的物项向包括中国在内等多个国家的出口管制措施，更新的管制设备明细包括刻蚀设备、制造沉积设备、退火设备、清洗设备等绝大多数半导体设备。2024年12月，美国商务部工业与安全局发布了《临时最终规则》，明确管控对象包括通过使用美国技术、软件或工具直接生产的商品，以及包含由此类技术生产的关键部件的商品，以确保其不能间接支持中国的先进节点集成电路生产。

在国际厂商垄断市场和美国实施出口管制的背景下，于2021年推出首款国产自主研发的半导体级压电式MFC，有力推动了该核心部件的自主可控进程，并陆续通过A、B等半导体设备厂商的验证，实现批量供货，切实推动了国产自主可控进程。

未来随着国内半导体行业进一步发展壮大和资本开支逐步上行，半导体设备国产化需求提速，双重催化下国内质量流量控制器市场将迎来重大发展机遇。根据中金企信数据，2024年以质量流量控制器为代表的半导体设备关键流体控制部件国内市场规模达35.93亿元，2016至2024年间年均复合增长率达12.39%，预计至2030年市场规模将达到68.99亿元，2024年至2030年年均复合增长率达11.49%。

2、压电喷射阀发展态势分析：早期自动化点胶设备采用接触式的针头点胶筒，易造成拉丝拖尾、针头划伤产品等问题，且精度不高、效率低。此后行业内出现电磁驱动型喷射阀，形成了非接触式点胶（又称为喷射点胶）这一新型点胶方式。喷射点胶具有不接触工件、无Z轴运动、点胶速度快、喷射精度高和一致性好等特点，更适用于小微流量、工件表面不平整的精密点胶。但电磁驱动型喷射阀工作频率上限相对较低，点胶精度和速度受到了较大限制。

压电喷射阀也属于非接触式点胶，除点胶精度和速度相较于电磁驱动型喷射阀大幅提高外，其还具有点胶一致性更优、易于维护和调试的特点，更能适应高端制造精密化、高效化的生产要求，大幅度提升生产效率和良率。基于以上优势，压电喷射阀得到大规模应用。

随着以智能手机为代表的消费电子产品快速发展，电子制造产业对点胶工艺的精度和效率提出更高要求，国外品牌如Nordson、Marco、VERMES、Musashi等的压电喷射阀开始进入市场。制造产业的持续精密化发展为压电喷射阀的迅速普及带来了成熟的市场条件以及广阔的市场空间。随着无线蓝牙耳机、智能手表等可穿戴产品的出现以及人工智能、5G等技术的快速发展，电子元器件持续向微型化发展且集成度不断提高，对高精度点胶封装的需求不断增加，压电喷射阀以其性能优势正逐步成为消费电子、新能源电池、半导体等精密电子制造领域的主流点胶方式。

根据中金企信数据，2024年中国压电驱动点胶部件及设备市场规模达22.62亿元，2016至2024年间年均复合增长率达7.32%，预计至2030年市场规模将达到38.48亿元，年均复合增长率达9.26%，呈现快速发展趋势。

（3）其他压电驱动精密流体控制产品发展态势：其他压电驱动精密流体控制产品包括压电比例阀、压电伺服阀、压电泵、压电喷油阀、压电喷墨打印等，产品种类达十余个，应用范围涵盖社会、经济、工业与民用以及国防军工等多个领域，是自动化、智能化高端装备的重要功能部件产品。

（1）持续向精密、高速、数字化的方向发展，满足高端制造升级需求：随着我国制造业转型升级，智能制造是未来制造业发展的必然趋势，以大数据、云计算、区块链等为代表的数字技术与制造业的结合是实现智能化的关键。数字技术向经济社会各领域全面渗透，产生了大量新型智能终端，并使各类生产设备实现了自动化、智能化，助力传统制造业大幅提高生产效率和工艺水平，在经济社会发展中的作用已上升到生产力的中心位置。易于实现流体数字化控制的压电驱动精密流体控制部件也凭借其高速、精密、小巧、节能等特性，应用于各类智能制造装备，并不断提高性能和数字化集成度，适应更加精密、高效的制造需求。

（2）新产品不断出现，适用场景不断增加，对电磁驱动精密流体控制产品形成有效替代与补充：电磁驱动在流体控制领域已形成众多种类的电磁阀和电磁泵，下游应用领域十分广泛。压电驱动与电磁驱动相比具备更高的速度和精度，且结构简单、安全节能，可在众多领域对电磁驱动形成有效替代与补充，形成压电驱动精密流体控制新产品。如在晶圆制造领域，压电流量控制方式不产生磁场，不会破坏去离子水的性状，可应用于刻蚀机、薄膜沉积设备、真空镀膜设备等多种高端装备中；在航空航天领域，压电驱动可形成精度更高、速度更快、结构更轻、更适应高压环境的微流量泵、微流量控制阀，实现流体的微量控制。

（3）高端装备核心部件国产化进程加快，市场前景广阔：随着中国晶圆制造、平板显示产业的快速发展，对刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入机等高端装备的国产化需求剧增，上述高端装备中对腐蚀性流体、易沉积的高分子气体、黏性液体进行精确计量和控制的核心部件目前主要由国外供应，国产替代空间广阔。

第一章 压电驱动精密流体控制行业发展概况

1.1 压电驱动精密流体控制行业市场综述及趋势

1.1.1 行业市场发展综述

1.1.2 行业市场发展趋势

1.2 压电驱动精密流体控制行业供应链分析

1.2.1 压电驱动精密流体控制行业下游产业链分析

1.2.2 压电驱动精密流体控制行业上游产业供应链分析

1.3 压电驱动精密流体控制行业主要竞争企业发展概述

第二章 全球压电驱动精密流体控制总体规模分析

2.1 全球压电驱动精密流体控制产能、产量现状及预测（2020-2032）

2.1.1 全球压电驱动精密流体控制产能及发展趋势（2020-2032）

2.1.2 全球压电驱动精密流体控制产量及发展趋势（2020-2032）

2.2 全球主要地区压电驱动精密流体控制产量及发展趋势（2020-2032）

2.2.1 全球主要地区压电驱动精密流体控制产量（2020-2025）

2.2.2 全球主要地区压电驱动精密流体控制产量（2026-2032）

2.2.3 全球主要地区压电驱动精密流体控制产量市场份额（2020-2032）

2.3 中国压电驱动精密流体控制产能、产量现状及预测（2020-2032）

2.3.1 中国压电驱动精密流体控制产能及发展趋势（2020-2032）

2.3.2 中国压电驱动精密流体控制产量及发展趋势（2020-2032）

2.4 全球压电驱动精密流体控制销量及销售额

2.4.1 全球市场压电驱动精密流体控制销售额（2020-2032）

2.4.2 全球市场压电驱动精密流体控制销量（2020-2032）

第三章 全球与中国主要厂商市场份额分析

3.1 全球市场主要厂商压电驱动精密流体控制产能市场份额

3.2 全球市场主要厂商压电驱动精密流体控制销量（2020-2025）

3.2.1 全球市场主要厂商压电驱动精密流体控制销量（2020-2025）

3.2.2 全球市场主要厂商压电驱动精密流体控制销售收入（2020-2025）

3.2.3 全球市场主要厂商压电驱动精密流体控制销售价格（2020-2025）

3.2.4 全球主要生产商压电驱动精密流体控制收入排名

3.3 中国市场主要厂商压电驱动精密流体控制销量（2020-2025）

3.3.1 中国市场主要厂商压电驱动精密流体控制销量（2020-2025）

3.3.2 中国市场主要厂商压电驱动精密流体控制销售收入（2020-2025）

3.3.3 中国主要生产商压电驱动精密流体控制收入排名

3.3.4 中国市场主要厂商压电驱动精密流体控制销售价格（2020-2025）

3.4 压电驱动精密流体控制行业政策环境分析

3.5 压电驱动精密流体控制行业技术环境分析

3.6 压电驱动精密流体控制行业市场需求环境分析

3.7 压电驱动精密流体控制行业集中度、竞争程度分析

3.7.1 压电驱动精密流体控制行业集中度分析（区域集中度、企业集中度、市场集中度）

3.7.2 全球压电驱动精密流体控制生产商（品牌）竞争格局及市场份额

第四章 全球压电驱动精密流体控制主要地区分析

4.1 全球主要地区压电驱动精密流体控制市场规模分析（2020-2032）

4.1.1 全球主要地区压电驱动精密流体控制销售收入及市场份额（2020-2025年）

4.1.2 全球主要地区压电驱动精密流体控制销售收入预测（2026-2032年）

4.2 全球主要地区压电驱动精密流体控制销量分析（2020-2032）

4.2.1 全球主要地区压电驱动精密流体控制销量及市场份额（2020-2025年）

4.2.2 全球主要地区压电驱动精密流体控制销量及市场份额预测（2026-2032）

4.3 北美市场压电驱动精密流体控制销量、收入及增长率（2020-2032）

4.4 欧洲市场压电驱动精密流体控制销量、收入及增长率（2020-2032）

4.5 中国市场压电驱动精密流体控制销量、收入及增长率（2020-2032）

4.6 澳大利亚市场压电驱动精密流体控制销量、收入及增长率（2020-2032）

4.7 东南亚市场压电驱动精密流体控制销量、收入及增长率（2020-2032）

4.8 亚太其他市场压电驱动精密流体控制销量、收入及增长率（2020-2032）

第五章 全球和中国压电驱动精密流体控制行业的进出口数据分析

5.1 全球压电驱动精密流体控制行业进口国分析

5.2 全球压电驱动精密流体控制行业出口国分析

5.3 中国压电驱动精密流体控制行业进出口分析

5.3.1 中国压电驱动精密流体控制行业进口分析

5.3.1.1 中国压电驱动精密流体控制行业整体进口情况

5.3.1.2 中国压电驱动精密流体控制行业进口产品结构

5.3.2 中国压电驱动精密流体控制行业出口分析

5.3.2.1 中国压电驱动精密流体控制行业整体出口情况

5.3.2.2 中国压电驱动精密流体控制行业出口产品结构

5.3.3 中国压电驱动精密流体控制行业进出口对比

第六章 全球和中国压电驱动精密流体控制行业主要类型市场规模分析

6.1 全球压电驱动精密流体控制行业主要类型市场规模分析

6.1.1 全球压电驱动精密流体控制行业各产品销量、市场份额分析

6.1.2 全球压电驱动精密流体控制行业各产品销售额、市场份额分析

6.1.3 2020-2025年全球压电驱动精密流体控制行业各产品价格走势

6.2 中国压电驱动精密流体控制行业主要类型市场规模分析

6.2.1 中国压电驱动精密流体控制行业各产品销量、市场份额分析

6.2.2 中国压电驱动精密流体控制行业各产品销售额、市场份额分析

6.2.3 2020-2025年中国压电驱动精密流体控制行业各产品价格走势

第七章 全球和中国压电驱动精密流体控制行业主要应用领域市场分析

7.1 全球压电驱动精密流体控制行业应用领域分析

7.1.1 全球压电驱动精密流体控制在各应用领域销量、市场份额分析

7.1.2 全球压电驱动精密流体控制在各应用领域销售额、市场份额分析

7.2 中国压电驱动精密流体控制行业应用领域分析

7.2.1 中国压电驱动精密流体控制在各应用领域销量、市场份额分析

7.2.2 中国压电驱动精密流体控制在各应用领域销售额、市场份额分析

第八章 全球压电驱动精密流体控制行业运营形势分析

8.1 全球压电驱动精密流体控制价格走势分析

8.2 全球压电驱动精密流体控制行业经济水平分析

8.2.1 行业盈利能力分析

8.2.2 行业发展潜力分析

8.3 全球压电驱动精密流体控制行业市场痛点及发展重点

第九章 压电驱动精密流体控制行业市场竞争格局分析

9.1 中国压电驱动精密流体控制行业历史竞争格局概况

9.1.1 压电驱动精密流体控制行业集中度分析

9.1.2 压电驱动精密流体控制行业竞争程度分析

9.2 中国压电驱动精密流体控制行业竞争分析

9.2.1 压电驱动精密流体控制行业竞争概况

9.2.2 中国压电驱动精密流体控制产业集群分析

9.2.3 中外压电驱动精密流体控制企业竞争力比较

9.2.4 压电驱动精密流体控制行业品牌竞争分析

9.3 中国压电驱动精密流体控制行业市场竞争格局分析

9.3.1 国内外压电驱动精密流体控制竞争分析

9.3.2 我国压电驱动精密流体控制市场竞争分析

9.3.3 全球及中国压电驱动精密流体控制重点企业SWOT分析

第十章 压电驱动精密流体控制行业投资潜力及风险分析

10.1 压电驱动精密流体控制行业投资效益分析

10.1.1 压电驱动精密流体控制行业投资效益分析

10.1.2 压电驱动精密流体控制行业投资的建议

10.1.3 压电驱动精密流体控制行业投资潜力分析

10.2  影响压电驱动精密流体控制行业发展的主要因素

10.3  压电驱动精密流体控制行业投资风险及控制策略分析

10.4  压电驱动精密流体控制行业投资方向分析

10.5  压电驱动精密流体控制行业投资价值评估分析

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