报告发布方：中金企信国际咨询

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（1）前道量检测设备行业发展现状：

①前道量检测设备是芯片制造产线中不可或缺的核心设备：前道量检测设备以光、电子束等介质作为主要工具，针对光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备的加工成果，进行关键指标的量测或潜在缺陷的检测，其使用场景覆盖扩散、薄膜沉积、光刻、刻蚀、离子注入、CMP、清洗等芯片前道生产的几乎全部工序，具体情况如下：

前道量检测设备在晶圆制造中的应用分析

区别于光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备，前道量检测设备属于“过程控制设备”，本身并不参与制造，但发挥着“指引”制造活动的作用：一方面，良率系芯片制造的“生命线”，芯片产线须依赖前道量检测设备检测出产品的各类缺陷，并依此发现各工艺阶段的潜在问题，及时对工艺路线、设备搭配、产线参数等进行调整，进而提升芯片产线整体的产品良率。随着下游芯片需求的不断发展，芯片制造的工艺步骤亦在不断增多，工艺步骤的增多亦会导致产线的整体良率更加难以把控，从而导致产线对前道量检测设备的依赖不断提高。

另一方面，在进行制造工艺改进或工艺节点提升时，芯片产线亦须通过前道量检测设备获取精确的数据支持，以评判工艺方案的优劣，或指导相应的研发探索。例如，在多重曝光技术中，正是依靠了“套刻精度量测设备”对光刻工序后两层相邻光刻胶的“偏移量”的测定，才能验证多张掩膜版的相对位置是否精确，从而验证相关工艺是否可行，进而决定该技术的商业化价值。若无法得知精确数据，则多重曝光技术将无法顺利产业化。因此，前道量检测设备是芯片制造产线中不可或缺的核心设备，前道量检测设备的技术水平，直接影响着芯片品质，并制约着芯片工艺的技术提升。

②前道量检测设备涉及多学科领域，结构精密复杂、制造难度大：从结构上看，前道量检测设备主要由传输单元、光路处理单元、信号单元、量检测单元等系统组成，包含成千上万个具体模块，每个具体模块的突破均需要企业长期的技术积淀。

从功能上看，前道量检测设备作为半导体行业的高精密仪器，需完成纳米级别的测量、检测工作，是半导体前道生产的“眼睛”和“医生”。前道量检测设备的功能属性决定了其必须具备“高精密度”的特质。

从技术上看，前道量检测设备涉及高真空腔传输技术、光谱检测技术、快速运算技术、高精度信号检测技术等多项技术的攻关，是光学、物理学、机械学、算法等多领域学科的技术结晶，技术壁垒较高，制造难度较大。

③前道量检测设备种类繁多，在自研突破的同时亦须兼顾产线的安全稳定生产前道量检测设备是应用于前道过程控制的一系列设备的统称，不同于光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备，前道量检测设备的种类繁多，包括十余种大类、百余种型号，分别用于薄膜厚度、关键尺寸、套刻精度、刻蚀深度、表面形貌等关键指标的测量，以及颗粒沾污、图案缺陷、微观缺陷、机械划伤等一系列潜在缺陷的检测：

如上表所示，不同品类的前道量检测设备功能不同，其技术原理亦各有特点，并不完全相通，每个细分领域均需较为深厚的技术积累和持续研发攻关，需投入较大精力开展自研。而对于产线而言，由于各道连续工序存在“木桶效应”，任何一个细分领域的量检测设备的欠缺，均会导致产线整体生产成果无法有效控制，进而对产线良率造成不利影响。在上述背景下，一方面，需要国内企业不断在各个细分领域持续攻关，提高各类前道量检测设备能力；另一方面，也需要重视修复设备市场，通过修复设备市场的发展，持续为产线提供多品类的修复设备供应，维持产线的稳定运转，进而确保芯片制造的安全生产。

（2）前道量检测设备市场规模及供需情况

①前道量检测设备市场规模较大且保持着稳定增长：前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。据中金企信数据，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。

近年来，全球前道量检测设备市场呈现稳步增长。根据统计数据，2019年至2023年，全球前道量检测设备市场规模由63.7亿美元增长至128.3亿美元，年复合增长率19.13%。同时，得益于芯片行业的繁荣发展，中国大陆前道量检测设备（包含全新设备和修复设备）市场规模快速增长，由2019年的16.9亿美元增长至2023年的42.3亿美元，年复合增长率达到25.78%，高于全球平均水平，占全球市场规模的比例由2019年的26.53%增长至2023年的32.97%，已成为全球最大的前道量检测设备市场。

②少数国际龙头企业主导全球前道量检测设备市场，在新设备、修复设备、运维服务等多个维度均实现垄断地位：与光刻机市场相似，前道量检测设备的技术壁垒高、制造难度大，需要企业长时间的投入及技术积淀，供应市场呈现高度集中的格局。目前，全球前道量检测设备供应市场由KLA、AMAT、Hitachi等少数国际龙头企业主导，其市场占有率分别为52%、12%、11%，其他企业市场份额合计仅25%。

为匹配摩尔定律下晶圆制造工艺的升级步伐，及时满足全球领先的晶圆制造企业对新一代设备的需求，并保持引领市场的竞争力，在有限的资金、产能、人力下，国际龙头企业一般会将更多精力投入研发生产先进制程设备。而对于成熟制程设备市场，国际龙头企业一般通过提供修复设备的方式，实现全方位的占据。

目前，国内先进制程的前道量检测设备市场，主要被KLA、AMAT等国际龙头企业的新设备部门所占据，而成熟制程市场，主要被上述国际龙头企业的修复部门所占据。而以中科飞测、精测电子和卓海科技为代表的国内前道量检测设备企业，在不同市场展开了对国际龙头企业的追赶，近年来收入均持续增长。

除设备市场外，国内前道量检测设备运维服务市场也同时被国际巨头垄断。当前，国内芯片产线上正在运行的存量设备数量远远大于每年新增的增量设备，且几乎均为国际品牌。前道量检测设备作为重要的半导体设备，在芯片生产过程中，一旦出现故障，可能会导致整体产线停工，进而带来较大的风险，因而具有持续的运维服务需求。根据中金企信数据，其运维及技术服务收入高达23.30亿美元，运维市场空间较大。近年来，受到国际贸易冲突的影响，我国部分芯片产线无法获得国际原厂的零部件供给和运维服务，对我国芯片的安全稳定生产带来了较大的隐患。以卓海科技为代表的国内前道量检测设备企业正在承担起填补运维需求缺口，降低客户单一依赖国际品牌的风险。随着国际贸易形势日趋严峻，国内运维企业在维持芯片产线安全稳定生产方面的角色将越来越重要。

③前道量检测设备发展有待加强，自研新设备处于发展初期：2023年度中国大陆前道量检测新设备市场规模合计35亿美元。其中，国内自研品牌的市场份额仅约为5%（约1.76亿美元），新设备市场主要被KLA、AMAT、Hitachi等国际巨头垄断。虽然自研设备企业不断加大研发和技术积累，但除中科飞测、上海精测等企业具备一定规模外，行业内大部分企业仍处于发展初期，自研设备收入规模相对较小。目前，国内自研品牌的发展主要面临以下挑战：

首先，技术差距较大。前道量检测设备结构精密复杂、制造难度大，而我国芯片产业起步又相对较晚，导致国内自研品牌与国际品牌相比还存在较大的技术差距。

其次，品类覆盖范围较小。不同于光刻机、刻蚀机等工艺设备，前道量检测设备包含十余种大类、百余种型号，是用于集成电路前道工序的各种量测设备和检测设备的统称。不同类别的设备，其设备结构、技术原理、重点攻关方向等均存在较大区别。而受制于目前的发展阶段，国内品牌一般只专注于某一类或几类设备的研发，缺乏与国际巨头在前道量检测设备各细分领域全面竞争的能力。

最后，自我造血能力较低。前道量检测设备在集成电路生产中起到了至关重要的作用，下游产线出于安全稳定生产的需求，一般不会轻易更换设备供应商。因此，国内自研品牌想要实现在客户端的商业化应用，往往需要付出较大的市场推广成本，并耗费较长时间进行客户端的产品验证。基于上述原因，对于国内自研品牌来说，即使样机开发完成，仍需较长时间才能实现收入的大规模起量。综合考虑较大的产品研发投入及客户端较长的验证周期，相较于国际巨头，大部分国内自研品牌在现阶段往往较难实现盈利，自我造血能力较低。而缺乏自我造血能力，亦导致较多国内自研品牌难以支撑多品类的研发投入，从而无法弥补与国际品牌的各项差距。

上述挑战导致自研品牌在短期内预计仍无法满足芯片稳定生产的需求缺口，而作为“工业粮食”的芯片一旦欠缺，会直接影响诸多下游新兴领域的发展。因此，为保障产线的芯片产量和生产安全，在鼓励新设备自研的同时，应兼顾修复设备市场，进而保障芯片产线的安全稳定运行。

第一章 道量检测设备行业发展概况

1.1 道量检测设备行业市场综述及趋势

1.1.1 行业市场发展综述

1.1.2 行业市场发展趋势

1.2 道量检测设备行业供应链分析

1.2.1 道量检测设备行业下游产业链分析

1.2.2 道量检测设备行业上游产业供应链分析

1.3 道量检测设备行业主要竞争企业发展概述

第二章 2019-2024年道量检测设备行业发展状况分析

2.1 中国道量检测设备行业发展状况分析

2.1.1 中国道量检测设备行业发展总体概况

2.1.2 中国道量检测设备行业发展主要特点

2.1.3 2019-2024年道量检测设备行业经营情况分析

（1）道量检测设备行业经营效益分析

（2）道量检测设备行业盈利能力分析

（3）道量检测设备行业运营能力分析

（4）道量检测设备行业偿债能力分析

（5）道量检测设备行业发展能力分析

2.2 2019-2024年道量检测设备行业经济指标分析

2.2.1 道量检测设备行业主要经济效益影响因素

2.2.2 2019-2024年道量检测设备行业经济指标分析

2.2.3 2019-2024年不同规模企业经济指标分析

2.2.4 2019-2024年不同性质企业经济指标分析

2.2.5 2019-2024年不同地区企业经济指标分析

2.2.6 2019-2024年中国道量检测设备市场价格走势分析

2.3 2019-2024年道量检测设备行业供需平衡分析

2.3.1 2019-2024年全国道量检测设备行业供给情况分析

2.3.2 2019-2024年各地区道量检测设备行业供给情况分析

2.3.3 2019-2024年全国道量检测设备行业需求情况分析

2.3.4 2019-2024年各地区道量检测设备行业需求情况分析

2.3.5 2019-2024年全国道量检测设备行业产销率分析

2.4 2019-2024年道量检测设备行业运营状况分析

2.4.1 2019-2024年行业产业规模分析

2.4.2 2019-2024年行业资本/劳动密集度分析

2.4.3 2019-2024年行业产销分析

2.4.4 2019-2024年行业成本费用结构分析

2.4.5 2019-2024年行业盈亏分析

第三章 道量检测设备行业市场环境分析中金企信国际咨询

3.1 行业政策环境分析

3.1.1 行业相关政策动向

3.1.2 道量检测设备行业发展规划

3.2 行业经济环境分析

3.2.1 国家宏观经济环境分析

3.2.2 行业宏观经济环境分析

3.3 行业社会需求环境分析

3.3.1 行业需求特征分析

3.3.2 行业需求趋势分析

3.4 行业产品技术环境分析

3.4.1 行业技术水平发展现状

3.4.2 行业技术水平发展趋势

第四章 2019-2024年道量检测设备行业市场竞争状况分析

4.1 行业总体竞争状况分析

4.2 国际市场竞争状况分析

4.2.1 国际道量检测设备市场发展状况

4.2.2 国际道量检测设备市场竞争状况分析

4.2.3 国际道量检测设备市场发展趋势分析

4.2.4 跨国公司在中国市场的投资布局

4.2.5 跨国公司在中国的竞争策略分析

4.3 国内市场竞争状况分析

4.3.1 国内道量检测设备行业竞争格局分析

4.3.2 国内行业集中度分析

4.3.3 国内道量检测设备行业市场规模分析

4.3.4 道量检测设备行业议价能力分析

4.4 2019-2024年国际道量检测设备行业市场运行现状调查

4.4.1 国际道量检测设备行业市场规模分析及预测

4.4.2 国际道量检测设备市场应用规模分析及占比

4.4.3 国际道量检测设备市场价格走势分析及预测

4.4.4 国际道量检测设备市场供需结构分析及预测

4.4.5 国际道量检测设备重点企业竞争力分析

4.4.6 国际道量检测设备市场销售收入分析及预测

4.4.7 国际道量检测设备应用市场需求分析及预测

4.4.8 国际道量检测设备应用市场供给分析及预测

4.5 道量检测设备市场重点国家调查分析

4.5.1 美国

4.5.2 欧洲

4.5.3 日本

4.5.4 韩国

4.5.5 其他

第五章 中金企信国际咨询中国道量检测设备行业市场运行分析

5.1 2019-2024年中国道量检测设备行业总体规模分析

5.1.1 企业数量结构分析

5.1.2 人员规模状况分析

5.1.3 行业资产规模分析

5.1.4 行业市场规模分析

5.2 2019-2024年中国道量检测设备行业产销情况分析

5.2.1 中国道量检测设备行业总产值

5.2.2 中国道量检测设备行业销售产值

5.2.3 中国道量检测设备行业产销率

5.3 2019-2024年中国道量检测设备行业市场供需分析

5.3.1 中国道量检测设备行业供给分析

5.3.2 中国道量检测设备行业需求分析

5.3.3 中国道量检测设备行业供需平衡

第六章 中金企信国际咨询中国道量检测设备行业区域细分市场调研

6.1 行业总体区域结构特征及变化

6.1.1 行业区域结构总体特征

6.1.2 行业区域集中度分析

6.1.3 行业区域分布特点分析

6.1.4 行业规模指标区域分布分析

6.1.5 行业效益指标区域分布分析

6.1.6 行业企业数的区域分布分析

6.2 道量检测设备区域市场分析

6.2.1 东北地区道量检测设备市场分析

6.2.2 华北地区道量检测设备市场分析

6.2.3 华东地区道量检测设备市场分析

6.2.4 华南地区道量检测设备市场分析

6.2.5 华中地区道量检测设备市场分析

6.2.6 西南地区道量检测设备市场分析

6.2.6 西北地区道量检测设备市场分析　

6.3 2019-2024年道量检测设备市场容量研究分析

6.3.1 2019-2024年中国道量检测设备市场容量分析

6.3.2 2019-2024年不同企业道量检测设备市场占有率分析

6.3.3 2019-2024年不同地区道量检测设备市场容量分析

第七章 中国道量检测设备行业上、下游产业链分析

7.1 道量检测设备行业产业链概述

7.1.1 产业链定义

7.1.2 道量检测设备行业产业链

7.2 道量检测设备行业主要上游产业发展分析

7.2.1 上游产业发展现状

7.2.2 上游产业供给分析

7.2.3 上游供给价格分析

7.3 道量检测设备行业主要下游产业发展分析

7.3.1 下游产业发展现状

7.3.2 下游产业需求分析

第八章 中金企信国际咨询中国道量检测设备行业市场竞争格局分析

8.1 中国道量检测设备行业历史竞争格局概况

8.1.1 道量检测设备行业集中度分析

8.1.2 道量检测设备行业竞争程度分析

8.2 中国道量检测设备行业竞争分析

8.2.1 道量检测设备行业竞争概况

8.2.2 中国道量检测设备产业集群分析

8.2.3 中外道量检测设备企业竞争力比较

8.2.4 道量检测设备行业品牌竞争分析

8.3 中国道量检测设备行业市场竞争格局分析

8.3.1 2019-2024年国内外道量检测设备竞争分析

8.3.2 2019-2024年我国道量检测设备市场竞争分析

8.3.3 2019-2024年品牌竞争情况分析

第九章 道量检测设备行业领先企业竞争力分析

9.1 企业一

9.2 企业二

9.3 企业三

9.4 企业四

9.5 企业五

第十章 2025-2031年中国道量检测设备行业发展趋势与前景分析

10.1 2025-2031年中国道量检测设备市场趋势预测

10.1.1 2025-2031年道量检测设备市场发展潜力

10.1.2 2025-2031年道量检测设备市场趋势预测展望

10.1.3 2025-2031年道量检测设备市场价格走势预测分析

10.2 2025-2031年中国道量检测设备市场发展趋势预测

10.2.1 2025-2031年道量检测设备行业发展趋势

10.2.2 2025-2031年道量检测设备市场规模预测

10.2.3 2025-2031年道量检测设备行业应用趋势预测

10.2.4 2025-2031年细分市场发展趋势预测

10.3 2025-2031年中国道量检测设备行业供需预测

10.3.1 2025-2031年中国道量检测设备行业供给预测

10.3.2 2025-2031年中国道量检测设备行业需求预测

10.3.3 2025-2031年中国道量检测设备供需平衡预测

第十一章 2025-2031年中国道量检测设备行业前景调研中金企信国际咨询

11.1 道量检测设备行业投资现状分析

11.1.1 道量检测设备行业投资规模分析

11.1.2 道量检测设备行业投资资金来源构成

11.1.3 道量检测设备行业投资主体构成分析

11.2 道量检测设备行业投资特性分析

11.2.1 道量检测设备行业进入壁垒分析

11.2.2 道量检测设备行业盈利模式分析

11.2.3 道量检测设备行业盈利因素分析

11.3 道量检测设备行业投资机会分析

11.4 道量检测设备行业投资前景分析

11.4.1 行业政策风险

11.4.2 宏观经济风险

11.4.3 市场竞争风险

11.4.4 关联产业风险

11.4.5 产品结构风险

11.4.6 技术研发风险

11.4.6 其他投资前景

第十二章 中金企信国际咨询2025-2031年中国道量检测设备企业投资规划建议分析

12.1 道量检测设备企业投资前景规划背景意义

12.1.1 企业转型升级的需要

12.1.2 企业做大做强的需要

12.1.3 企业可持续发展需要

12.2 道量检测设备企业战略规划制定依据

12.2.1 国家政策支持

12.2.2 行业发展规律

12.2.3 企业资源与能力

12.3 道量检测设备企业战略规划策略分析

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《2025-2031年镍精炼设备行业上下游市场全景调研分析及竞争战略可行性预测报告-中金企信发布》

1、企业填写“企业信息反馈表”确认订购意向;
2、由我方出示合同样本，双方确认合同条款即可签署达成合作；
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4、我方确认订购方款项到账后以邮件与快递形式将材料与国家认可正规发票提供订购方（注：相关细节合同条款中有具体体现）