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1、定义及分类

MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支，作为微机电系统的重要组成部分，MEMS传感器是实现微机电系统感知和信号处理的功能器件。MEMS传感器是基于其敏感材料的特殊效应工作的，它的制作工艺结合当今先进的IC微电子加工工艺和MEMS微机械加工制造工艺来实现，通过对材料的微机械加工，制造出可感受压力、温度、磁场、加速度等各种参数的稳定的结构器件（如梁、膜、叉指等单一或复合的结构），从而实现对各种相关参数的感知、测试和转换。MEMS传感器可分为MEMS惯性传感器、MEMS压力传感器、MEMS声学传感器、MEMS环境传感器、MEMS光学传感器等。

2、行业产业链分析

MEMS传感器产业链上游主要包括原材料与芯片设计，其中原材料包括半导体硅片、陶瓷PCB、有机材料、钢材、铝材、箔材等。芯片设计是MEMS传感器产业链的核心环节之一，芯片设计企业负责根据应用需求，设计出具有特定功能的MEMS敏感芯片。中游为MEMS传感器的制造与封装环节。产业链下游为MEMS传感器的销售与应用。MEMS传感器应用场景多样，涵盖汽车电子、智能手机、智能家居、可穿戴设备、物联网、人工智能、VR、智能工业等领域。

3、市场规模

MEMS传感器是基于微机电系统（MEMS）的典型传感器件，具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。这些传感器采用微电子和微机械加工技术制造，能够在微米量级上实现某些传统机械传感器所不能实现的功能。MEMS传感器的应用广泛，包括但不限于消费电子、汽车工业、工业4.0、人工智能等领域。特别是在消费电子和汽车领域，MEMS传感器被广泛应用于手机、AR/VR控制、无人机、汽车导航、电子稳定器、状态监测以及自动驾驶等高科技领域。近年来，汽车产业、医疗及健康监护产业、通信产业以及手机和游戏机等个人电子消费品产业相继促进了我国MEMS传感器产业的快速发展，并在国内形成了多个MEMS传感器生产基地，MEMS传感器商业化的进展明显加快。随着全球电子制造产业链加速向亚太地区转移，MEMS传感器的产业重心也在不断迁移，我国成为MEMS传感器发展潜力最大，增速最快的市场。截至2023年末，我国MEMS传感器市场规模达1200亿。

数据整理：中金企信国际咨询

4、发展趋势

随着多种传感器进一步集成，越来越多的数据需要处理，软件使得多种数据融合成为可能，应用领域持续拓展。未来，智能家居、工业互联网、车联网、智能城市等新兴产业领域都将为MEMS传感器行业带来更广阔的市场空间。同时，随着物联网等应用对传感需求的快速增长，单个设备中搭载的传感器数量也逐渐增加。未来，通过多传感器的融合与协同，提升信号识别与收集的效果，提高智能设备器件的集成化程度也将成为MEMS传感器产业发展的重要趋势。此外，随着终端设备小型化、种类多样化，推动微电子加工技术特别是纳米加工技术的快速发展，MEMS传感器向更小尺寸演进亦是大势所趋。