①光伏设备行业发展情况：按照光伏电池产业链，可将光伏设备分为硅片设备、电池片设备、组件设备，其中硅片设备主要包括多晶铸锭炉、单晶炉、切片机、切断机、硅片检测分选设备等；电池片设备主要包括清洗制绒设备、扩散炉、刻蚀设备、镀膜设备、激光开槽设备、丝网印刷机等；组件设备主要包括划片机、自动串焊机、自动叠层设备、层压机、自动包装机等。

中金企信国际咨询专业编制《光伏薄膜沉积设备项目可行性研究报告》为企业投融资、项目立项、银行贷款申请、批地申请等提供专业化优质服务。

我国光伏电池设备制造企业通过工艺与装备的创新融合，以提高设备产能、自动化程度及转换效率为目标，同时适应大硅片生产，已具备了成套工艺设备的供应能力，基本实现设备国产替代，并在国际竞争中处于优势地位。自2010年以来，中国一直是全球最大的光伏设备市场。

2018年，我国光伏设备产业规模达到了220亿元。2019年达到了250亿元，同比增长13.6%。2020年，虽然存在新冠疫情等客观不利因素，但我国主要光伏企业均发布了产能扩张计划，相关设备厂商订单不断增加，光伏设备产业规模超过280亿元，仍保持增长。在光伏行业“降本增效”的发展趋势推动下，新产品、新技术层出不穷，相应量产和扩产需求催生更多的生产设备需求，在国内巨大市场需求拉动下，光伏设备厂商收入快速增长。

中金企信国际咨询公布的《全球及中国光伏设备行业专项深度调研及投资规划指导可行性预测报告（2022版）》

②光伏薄膜沉积设备应用情况：光伏薄膜沉积设备主要应用于太阳能晶硅电池片的制造环节，根据电池不同工艺和所需的薄膜性质，所采用的薄膜沉积设备会有所不同。2018年-2020年，我国新建产线已基本全部为PERC产线，针对目前已经大规模生产的PERC电池生产技术，生产设备基本实现国产化，其中薄膜沉积设备主要用于PERC电池的钝化和减反膜的制备。

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对于新型高效电池来说，目前产业化前景最为明确的TOP Con电池和HJT电池对于薄膜沉积的需求更高。TOP Con电池生产线可以由PERC电池生产线升级改造实现，除原薄膜沉积需求外，还增加了隧穿层和掺杂多晶硅层镀膜需求。HJT电池整体结构变化较大，其制造环节只需4大类设备，分别是制绒清洗设备（投资占比10%）、非晶硅沉积设备（投资占比50%）、透明导电薄膜设备（投资占比25%）和印刷设备（投资占比15%），其中非晶硅沉积设备、透明导电薄膜设备均需要用到薄膜沉积设备。以PERC和TOP Con电池为例，其工艺流程及各环节主要设备如下：

在TOP Con电池关键工艺步骤隧穿层和多晶硅层的制备中，LPCVD为起步较早的技术路线，但市场推广进程较慢，主要因为其存在绕镀严重、成膜速率低、需二次掺杂过程繁琐、后期运营成本高等尚未解决的技术难题。而公司开发的PEALD二合一平台，集成了PEALD和PECVD两种工艺，分别用于制备隧穿层和多晶硅层，能够弥补LPCVD技术存在的不足。

中金企信国际咨询公布的《全球及中国光伏薄膜沉积设备市场全景监测调研及竞争战略可行性预测报告（2022版）》

③光伏薄膜设备发展趋势：

A、技术创新催生更多设备需求：现阶段，下游光伏行业发展已经由过去的粗放式、外延式发展向精细化、内涵式发展转变，高效率、低成本的产品受到行业的青睐，产品升级需求进一步提高。光伏企业从传统重视规模效益、依赖补贴，逐步转向对高效率、高性能、高品质的光伏产品的追求。在市场化愈发重要的背景下，各种技术的创新，将会催生出更多的设备需求。

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B、设备研制与新型工艺更紧密地结合：设备研制与新型工艺技术开发相结合成为趋势。以提高转换效率为目的采用新型工艺的电池片生产将采取设计、制造、工艺开发、设备开发与改进联合进行的方式，上下游紧密合作，既缩短设备的开发周期，同时促进先进工艺的应用，也能降低设备采购成本，进一步提高国内光伏企业的市场竞争力。

C、薄膜沉积在新一代光伏设备中投资比重增加：由于TOP Con电池生产线可以由现有PECR电池生产线升级改造完成，而且目前TOP Con电池生产线单位投资规模和运营成本明显低于HJT电池生产线，因此TOP Con电池生产线在N型电池线建设中进展显著。

根据上市公司披露的项目投资明细，TOP Con（含未披露具体技术类型的N型电池）产线每GW平均投资规模高于PERC产线。

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数据统计：中金企信国际咨询