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(1)ITO靶材市场现状:ITO靶材有中低端和高端之分:中低端ITO靶材有建筑玻璃镀膜靶材、发热膜和热反射膜靶材,应用包括部分传统的汽车显示屏、部分仪器仪表的显示;高端ITO靶材主要用于平面显示、集成电路半导体、太阳能光伏以及磁记录和光记录等领域,尤其用于大面积、大规格的TFT-LCD、OLED等领域,具备高密度、高纯度、高均匀性等特点。
平面显示面板生产是ITO靶材当前的主要需求领域。在平面显示面板的生产工艺中,玻璃基板要经过多次溅射镀膜形成ITO玻璃,加工组装用于生产LCD面板、OLED面板等。触控屏(TP)的生产,则还需将ITO玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极,再与防护屏等部件组装加工而成。一般而言,ITO靶材在显示面板全部靶材成本中的占比接近50%。
太阳能光伏电池是ITO靶材未来需求的增长点。目前市场主要需求在异质结电池。异质结电池(HIT)在制备透明导电膜阶段需要应用ITO靶材,其生产成本低、转化效率高,有助于进一步提升对ITO的市场需求。
根据2020年11月西南证券出具的研究报告,与溅射靶材整体的情况类似,前期ITO靶材制备几乎由日、韩垄断,代表企业有JX金属、三井矿业、东曹、韩国三星等,其中日矿和三井两家几乎占据了高端TFT-LCD市场用ITO靶材的绝大部分份额和大部分的触控屏面板份额,中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场,约占国内30%的市场份额;而高端TFT-LCD、触控屏用ITO靶材主要依赖日、韩进口,进口比例约占国内70%的市场份额。
与此同时,国内ITO溅射靶材领域内部分优势企业正逐渐突破ITO溅射靶材的关键技术,已进入到国内下游知名企业的供应链体系,从试样、小批量生产到批量生产供应,在ITO靶材的关键技术上已逐步接近或达到国外厂商的技术水平,正逐渐改变国内高端平面显示用ITO靶材产品长期依赖进口的局面。
中金企信国际咨询公布的《2022-2028年中国ITO靶材行业市场深度调查及投资战略规划评估预测报告》
(2)ITO靶材市场容量分析:根据全球知名企业美铟公司专家会议演讲中认为,2017-2019年全球铟靶材需求量年均复合增长率会保持在5.5%,从1,356吨增长到1,680吨。中国已成为世界上最大的铟靶材需求国。
根据中国光学光电子行业协会液晶分会出具的情况说明,2019年至2021年国内ITO靶材市场容量从639吨增长到1,002吨,年复合增长率为25.22%。根据其预测,未来2-3年内,虽然国内平面显示行业的固定资产投资增速将有所放缓,但由于平面显示行业存量需求及太阳能光伏电池的增量需求,国内ITO靶材市场容量仍将保持一定幅度的增长,具体情况如下:
2019-2024年中国ITO靶材市场容量现状及预测
数据统计:中金企信国际咨询
(3)ITO靶材的技术发展趋势:
①尺寸大型化:随着电视、PC等面板面积加速向大尺寸化迈进,相应的ITO玻璃基板也出现了明显的大型化的趋势,这使得对ITO靶材尺寸的要求越来越大。为满足大面积镀膜工艺要求,往往需使用多片或多节小尺寸靶材拼焊成大尺寸靶材,但焊缝的存在会导致靶材镀膜质量的下降。因此,研发大尺寸单片(单节)靶材,减少焊缝数量成为ITO靶材技术发展趋势。
②高密度化:提高靶材的密度有助于减少毒化现象,并降低电阻率,提高靶材的使用寿命。毒化是指溅射过程中ITO靶材表面出现凸起物的结瘤现象,毒化会导致靶材溅射速率降低,弧光放电频率增加,所制备的薄膜电阻增加,透光率降低且均匀性变差,此时必须停止溅射,清理靶材表面或更换靶材。高密度ITO靶材具有较好的热传导性和较小的界面电阻,不易在溅射过程中发生热量蓄积,可减少毒化概率。因此,高密度化成为ITO靶材的技术发展趋势。
③提高利用率:提高靶材利用率一直是靶材制备行业研究的热点和难点。在溅射过程中,ITO平面靶材表面会形成环形磁场,并在环形表面进行刻蚀,这使得环形区域的中心部分无法被溅射,导致平面靶材的利用率较低,目前ITO平面靶材的靶坯利用率一般不超过40%。ITO旋转靶材相较平面靶材在利用率上有较大提升,旋转靶材围绕固定的条状磁铁组件进行旋转,使得整个靶面都可以被均匀刻蚀,提高了靶材的利用率,目前ITO旋转靶材的靶坯利用率可达70%以上。提高ITO靶材利用率有助于提高生产效率,降低生产成本,因此成为ITO靶材的技术发展趋势。