真空设备是在真空环境下进行产生、改善和维持的装置。本次调查主要是针对分子束外延系统，磁控溅射、电子束蒸发镀膜系统，等离子体刻蚀系统，快速热退火、快速热处理系统和等离子体增强化学气相沉积系统。

据中金企信国际咨询公布的《2021-2027年中国真空设备市场运行格局及投资战略研究报告》统计数据显示：中国真空设备行业自改革开放的20多年来有了很大的发展和长足的提高，这不只反应在产值、产量上的大幅度增加，而且在种类、规格还是在综合技术程度上都获得了可观的成就。全球消费量市场主要集中在亚太。中国占消费量市场的20.14%，台湾则占有18.44%。日本占有17.12%，韩国占有15.57%，北美销量市场相对较小，占全球销量的12.65%。在下游消费市场中，真空设备行业可以广泛地应用于电子行业、光学行业及玻璃行业、光伏行业等，电子行业是最大的消费市场，占有大约65.44%的市场。真空设备行业将以年10%的速度增长，到2010 年实现工业总产值（不变价）28亿元，工业总产值（现行价）26.4亿元、工业销售产值23亿元、产品销售收入26亿元、出口交货值1.5亿元，利润总额1.4亿元。

虽然中国真空设备行业尽管面临着诸多的问题和艰难，便它同时也面临着宏大的时机。中国的和平突起与宏大的市场，为我国的经济连续发展创造了十分好的条件，只要经济每年以7～8的增加速度发展，真空设备的潜在市场同样会一直扩张，只要我们每个企业选好自己的定位，发挥自己的奇特优势，肯定就会有作为，就会在强烈地市场竞争中求得生活空间。