（1）泛半导体行业：半导体是指常温下导电性介于导体和绝缘体之间的材料，半导体在照明、显示、能源、集成电路等领域的应用构成了形形色色的泛半导体产业。与钢铁冶金、水泥建材等重工业企业不同，泛半导体产业自诞生之日起，就一直朝着精密化、微型化方向发展，其制程中的工艺精细控制、作业环境的清洁度、污染防范控制是其生产工艺的关键环节。

光电、光伏、精密电子等泛半导体企业在产品制造工艺流程中会持续产生各类复杂污染物，主要包括NOx、酸碱废气、特气危气、VOCs、粉尘和废水等。经过制程污染防控系统的高效处理：首先，能够防止生产工艺设备被腐蚀、污染，保持作业机台的洁净度，降低杂质掺入对产品的不良影响，保障并提升产品生产良率；其次，最大程度的杜绝因特殊气体、危险气体的使用可能引发的生产事故（爆炸、中毒、失火等），保障生产安全、生命安全和财产安全；最后，实现制程污染物的排放达标，符合行业标准的排放要求。

中金企信国际咨询公布《2021-2027年中国泛半导体行业市场调查研究及投资潜力预测报告》

以光伏电池片生产为例，其制造工艺流程主要包括制绒清洗、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷、检测封装等，各个环节均有不同种类的污染物排放，具体情况如下：

因此，制程污染防控系统对泛半导体产业而言，既是解决企业达标排放的环保装备，也是保障企业安全生产、提高产品良率的重要辅助设备，是企业生产系统不可或缺的组成部分，其与厂房动力设备、原辅料输送设备共同构成了泛半导体企业的厂务系统，为该行业内企业核心生产工艺设备运转提供支持。

（2）市场需求现状分析:

①消费电子:消费电子行业是光电显示、精密电子、半导体元器件等行业的下游终端行业。消费电子是消费者购买用于满足其生活与工作中对沟通、资讯、事务处理和娱等方面的需求的电子产品，主要包括手机、电脑、影音设备、家用电器及其他数码类产品等。消费电子行业覆盖范围较广，产品具有技术升级快、更新换代周期短的特点。

根据美国消费技术协会（CTA）报告显示，2017年，全球科技消费产品市场规模将达7,540亿美元，其中，智能手机市场规模达4,320亿美元，占比近58%，亚洲将是增速最快的市场，智能手机消费将继续主导消费类电子产品的消费，而我国的电子信息制造业也将迎来快速发展的时期。

随着消费市场需求旺盛以及我国工业转型升级步伐的不断加快，电子信息制造业固定资产投资也不断加快。根据工信部统计数据，2013年-2018年，我国电子信息制造业500万元以上项目完成固定资产投资额年复合增长率达16.56%，其中，2018年固定资产投资额达到2.3万亿元。行业固定资产投资的持续增长为消费电子制造业的发展提供了广阔的市场空间。

电子信息制造业承担着大量电子产品的生产和制造，其飞速发展为人们带来了许多的便利，极大提升了生产和生活的效率。但与此同时不容忽视的是电子工业生产过程中会伴随着的污染问题。电子信息制造业在创造高经济产值的同时会产生大量的污水、废气和固体废物等工业污染物，其中电子信息制造业废水污染物主要包括重金属废水、含氰废水、含氨废水、含氟废水、含磷废水、有机废水和酸碱废水等，主要污染物涵盖了悬浮物、石油类、氰化物、氟化物、磷酸盐等；废气污染物则包括酸性废气和碱性废气、有机废气、苯类废气、含尘废气等，这些废气在车间内的浓度如果超标会对操作人员造成极大伤害，而有机废气和酸性废气的二次污染更是会导致雾霾的产生。因此，随着电子信息制造行业固定资产投资的持续增长，相应的制程污染防控设备需求也将不断加大。

②光伏:光伏产业是我国新能源产业的重要发展方向之一，光伏市场的发展对于优化我国能源结构、促进能源生产和消费革命、推动能源技术创新等方面都有重要的意义。光伏产业链大致包括晶体硅原料生产、硅棒与硅片生产、太阳能电池制造、组件封装、光伏产品生产和光伏发电系统等环节，其对大气环境的影响主要是酸洗过程中产生的酸雾，刻蚀阶段排放及产生的少量氟化物，制绒过程中产生的酸性废气，扩散过程中产生的氯化氢、氯气，氮化硅薄膜过程产生的硅烷、氨气，丝网烧结阶段挥发产生的少量有机废气以及焊接过程中产生的焊烟废气以及使用天然气产生的燃烧废气等，这类废气、粉尘如果回收、处理不当，有害物质大量外溢将对周边环境产生严重不良影响。

近年来，国家逐步加强对于光伏行业的环保治理，对有关标准进行修订，提出了更加严苛的标准。2018年3月，生态环境部发布《电池工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》，对包括光伏在内的电池行业污染物排放标准做了明确的要求，新标准大幅提高了光伏电池生产领域的废气、粉尘排放标准，推动光伏企业更新改造现有环保设施或以更高标准新建环保设施。

我国是全球最大的光伏市场，已连续六年新增装机排名第一。2019年，我国新增光伏并网装机容量达到30.1GW，累计光伏并网装机量达到204.3GW，新增和累计光伏装机容量保持全球第一。全年光伏发电量2242.6亿千瓦时，同比增长26.3%，占我国全年总发电量的3.1%，同比提高0.5个百分点。未来随着清洁能源的进一步普及，预计光伏产业仍将保持迅猛发展的态势，新增装机容量仍将持续增加，并带来该领域持续增长的环保需求。