①全球MEMS传感器行业发展概况：MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的新技术，其源自于美国，最早可追溯到1987年美国伯克利加州大学发明的微马达，被认为是MEMS技术的开端。1993年ADI公司的微加速度计产品大批量应用于汽车防撞气囊，MEMS正式走入产业化阶段。20世纪90年代MEMS技术快速发展，围绕深槽蚀刻技术发展出多种加工工艺，微镜、喷墨打印头等MEMS产品不断涌现。2007年以后，以智能手机为代表的消费电子产品大量应用MEMS传感器，惯性传感器、磁力计、光学MEMS、射频MEMS等应运而生。近年来，物联网的发展不断推动MEMS技术进步，MEMS集成化、智能化是未来发展趋势。

随着物联网时代到来，传感器将作为基础设施得到先行发展。传感器的应用已渗透进各行各业，如消费电子、医疗诊断、工业自动化、汽车电子、环境监测、交通运输、资源开发、军事工程等。MEMS传感器是一种融合了机电和控制技术的传感器，相对于传统传感器，体积更小、重量更轻、成本更低、功耗更低。2019年，全球MEMS传感器市场规模约为165亿美元，同比增长13.01%。中金企信统计数据显示：2017-2022年MEMS传感器全球市场规模年化增速预计将达13.99%。

中金企信国际咨询公布《2021-2027年中国MEMS传感器市场竞争力分析及投资战略预测研发报告》

2017-2022年MEMS传感器全球市场规模现状分析

       数据统计：中金企信国际咨询

②中国MEMS行业发展概况：中国已经成为全球MEMS市场中发展最快的地区，我国MEMS传感器几乎全部依赖进口，具有广阔的国产替代空间。根据中金企信统计数据，2019年，我国MEMS传感器行业规模617亿元，同比增长17.97%，2015-2020年的年化增速为18.54%。

2015-2020年中国MEMS传感器市场规模现状分析

      数据统计：中金企信国际咨询

（3）MEMS行业市场结构：MEMS产品主要可以分为MEMS传感器和MEMS执行器，其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。从2019年全球MEMS行业的市场结构来看，射频MEMS、压力传感器、麦克风、加速度计、陀螺仪和惯性组合是目前应用最为广泛的器件。

2019年全球MEMS行业市场结构分析

数据统计：中金企信国际咨询

2019年中国MEMS行业的市场结构与全球类似，根据中金企信数据显示，2019年国内射频MEMS产品、压力传感器、麦克风、惯性组合、加速度计占比较高。热电堆和热释电传感器领域在全国MEMS行业的市场规模中合计占比为0.9%，就热电堆传感器来说，国内企业市场占比较小，存在较大的国产替代空间。

数据统计：中金企信国际咨询

未来，随着物联网和人工智能技术的不断发展，MEMS传感器作为信息获取和交互的关键器件，将作为基础设施建设先行发展起来，市场空间将不断扩大，而随着MEMS传感器技术的不断进步，以及产品的工艺控制及性能越来越稳定，新的应用场景将层出不穷，未来产品的增量市场也将非常可观。